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SmartPlasma设备类型（RTR真空笔直式）

蚀刻护岸剂

产品详情

性能特点

  • 适合精细线路制作，减成法可以抵达30/30um线路制作

  • 相比mSAP工艺，用度低，无需增加设备投资，直接现有设备添加使用

  • 相比mSAP工艺，流程简单，和现有流程兼容，无需变换制作流程

  • 配方成熟，制程稳定，精细线路良率高


处理效果


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                                                  护岸剂添加前EF=3.8                                              护岸剂添加后EF=9.0

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